总的来讲，50年代之前，德国各级司法机关在盟国军管当局的监督下，还是进行了比较深入、细致的调查取证工作，进而将相当多的知名度较高的纳粹战犯绳之以法，处以比较严厉的惩罚。例如，西德检察部门于1948年在斯图加特市设立了专门侦缉纳粹战犯的特别分队，编制超过100 人（即使到两德统一以后仍保留了40人的编制），收集了65万名纳粹战犯的资料和物证。
前西德共有10个州，每个州的首府均设有州检察院和州检察长。五六十年代，在每个州检察院内部，都设有一个科，专门调查“纳粹时代所犯残暴罪行”。根据国家总检察长的安排，每个州的首府负责调查第三帝国的一个区域或者几个被占领国，作为它的责任地区：例如，斯图加特负责调查纳粹党和党卫军在意大利、希腊和波兰的西里西亚地区犯下的全部罪行；杜塞尔多夫和科隆负责调查特列勃林卡、海乌姆诺、索比堡和玛伊达奈克集中营的罪行；慕尼黑负责调查贝乌泽茨、达豪、布亨瓦尔特集中营的罪行；汉诺威负责调查乌克兰和波兰罗兹地区的全部暴行；汉堡则负责波罗地海三国和但泽地区以及波兰首都华沙的全部罪行。西德各州的检察部门还建立了通缉手册，内容包括被通缉战犯的姓名、出生年月，通常还包括该战犯的犯罪地点。仅对在各个集中营犯下罪恶的纳粹战犯，就审判了1941人，其中1517人被宣判有罪，内324 人判处死刑，247 人判处终身监禁，946 人判处有期徒刑，367 人无罪释放。
整个50年代，受冷战影响和美军占领当局的庇护，西德审判纳粹战犯的进程明显放慢，对相当一批罪恶昭彰的战犯重罪轻判甚至明目张胆地宣布无罪释放的事件也一再发生。这不仅引起战争受害国的强烈抗议，而且引起本国进步人士的反对和不满。直到60年代前半期，格罗布克和奥伯伦德这两个在西德联邦政府中窃据要职的纳粹战犯被民主德国揭露出庐山真面目，才引起西德政府和各个政党的重视，庇护纳粹战犯的行径得到一定程度的遏制。1969年，勃兰特领导的社会民主党上台后，西德追捕、惩办战犯出现高潮，继法兰克福组织奥斯维辛集中营审判案和哈根市举行索比堡灭绝营审判案后，又在杜塞尔多夫举办了玛伊达奈克集中营审判案，在斯图加特等地举办了其他主要集中营审判案。但两德统一之际，又有些别有用心的官员，借庆典为名，将狱中关押的纳粹女战犯不问罪行轻重而一概释放，即使是判处终身监禁的重犯也轻松地出狱回家。
近年来，由于德国国内反法西斯势力的再次高涨和国际舆论的压力，德国惩处纳粹战犯又趋积极。
一、（第二次）奥斯维辛集中营审判案。
1963年12月至1965年8 月，在西德第四大城——美因河畔法兰克福，联邦司法部门举行了奥斯维辛集中营审判案。其实，这已是第二次奥斯维辛集中营审判案，1947年12月，波兰最高人民法庭曾在克拉科夫举行过奥斯维辛集中营审判案。这次审判的意义在于，它是西德司法机关自独立进行审判纳粹战犯后，所开展的一次投入最大、规模最高、影响最广，同时也是继纽伦堡审判以后，西德举行的对纳粹战犯进行的比较公正、严厉的一次审判。它所审判的22名被告，不是纽伦堡审判遗留的漏网分子，就是过去被美英占领当局和西德司法部门明显重罪轻判的纳粹战犯。由于西德已于1949年废除死刑，本次审判的最高刑罚是终身监禁。被判处终身监禁的战犯有6 人，他们是：艾利希·冯·巴赫一杰列夫斯基，他曾任武装党卫军将军、波兰西里西亚地区党卫军及保安警察最高首领。他的罪行除组织灭绝本地区的犹太人和镇压波兰抵抗运动尤其是镇压1944年8 月爆发的华沙起义外，还在于，正是根据他的提议，奥斯维辛这个吞噬掉上百万和平居民的杀人魔窟才得以出笼的。纽伦堡审判期间，他逍遥法外，直到1950年冷战气氛不断升级，才到美军驻德有关部门“投案自首”。因对其罪行的证据尚不够充分，又有主动自首的良好表现，司法机关只判他10年徒刑，而且服刑数年即被释放。他此次上法庭已属“二进宫”，总算受到了应有的处罚。弗兰茨·约翰·霍夫曼，他是党卫军少尉，1943年起任奥斯维辛集中营男囚营看守长，已进入参与策划如何屠杀上百万犹太人的领导层。他曾负案在逃多年，1961年才被捕归案。尤塞夫·克莱尔，他是党卫军上士。军衔虽很低，却掌握了对患病囚犯的生杀大权，有时比医生杀人还厉害。在奥斯维辛主营医院之中，至少有475 个前来诊病的囚犯，被他使用长针刺人心脏注射的手法加以杀害。他是1960年9 月才被捕归案的。施泰凡·巴莱茨基，党卫军中士，是比克瑙分营焚尸场的负责人之一，经常参与或指示党卫军士兵把大批犹太妇女儿童驱赶进毒气室的罪恶活动。1960年4 月，在德国莱茵兰地区被捕。奥斯瓦特·卡杜克，党卫军下士。他直接监督囚犯们，并使用自己独出心裁地创造出来的种种非人的酷刑，将成千上百的囚犯拷打致死。战争结束时，他落人苏军手中，并判处25年监禁，但1956年因苏联同西德关系的改善而被释放出狱。因群众的强烈反对，他于1959年再度被捕，以后就赶上这次判决。威廉·伯格尔，党卫军上士。从1942年到1945年，他一直在奥斯维辛集中营的政治部供职，酷刑折磨和亲手杀人是他的拿手好戏。他于1945年6 月曾经被捕，次年判处终身监禁，但1949年却被释放。此次，他再次被判处终身监禁。罪行较轻的战犯被判处有期徒刑，共计工工人，其中有：鲁道夫·穆尔卡，他是奥斯维辛集中营司令官鲁道夫·霍斯的副官，参与了许多起策划如何杀害囚犯的罪恶活动。海克尔，奥斯维辛集中营最后一任司令官拜尔的副官。汉斯·施塔尔克，他先后在奥兰宁堡、布亨瓦尔特、达豪集中营担任党卫军看守，1940年调至奥斯维辛集中营担任舍长，不久，又调到政治部工作。亲手拷打和枪杀过数百个囚犯，被判处10年监禁。赫伯特·舍尔普，他是纳粹党员，又于1936年加入党卫军。1940年作为医士来到奥斯维辛主营医院病房。他的罪行与克莱尔相似，也是用注射毒剂大批杀害患病囚犯的刽子手。其恶毒之处在于，他的牺牲者当中，有不少是儿童。1943年7 月30日晚上，他伙同几个党卫军护士，通过注射毒剂的手段，杀害了整整80个13—17岁的波兰犹太少年。他被判处四年半监禁。拜恩哈特·弗兰茨·卢卡斯，党卫军上尉军医。他先在党卫军经济和行政管理总局医务处供职，后来相继担任比克瑙、毛特豪森、拉芬斯布吕克和萨克森豪森集中营的医生，参加过多次“挑选”，也进行过对囚犯的试验手术。他的突出罪状是开具了大量囚犯因种种重病自然死亡的诊断证明书，而这些人分明是死于毒气室、注射毒药或枪决。他被判处3 年3 个月监禁。遗憾的是，尤塞夫·门格尔和霍斯特·舒曼这两个恶贯满盈的杀人医生，尚未能出庭受审。据专家估算，经门格尔亲手挑选出来送往毒气室处死的老、弱、病、残、孕达38万人，经他做强制绝育手术的女四至少3000人，经他“医治”后惨死的孪生子女有2000多人。1941年前后，舒曼医生从尚未设立毒气装置的各大集中营（包括当时的奥斯维辛）挑走了6 万多个不适合劳动的男女和儿童，全部押送到由他担任主要负责人的格拉芬奈克和佐恩施泰因两个处决中心杀害。他致力于钻研爱克司光射线绝育手术后，又致死、致残了数千个青年犹太男女囚犯。其余5 名被告因证据不足而被宣判无罪。
这次审判经过近10年的准备，参阅了4000多种文献资料，动员了20个国家的356个证人到庭提供证词；起诉书长达17000 页，判决书长达 700多页，审判材料汇编成 88 卷。法兰克福审判案，对于漏网的纳粹战犯是一个相当沉重的打击，在很长时间内煞住了他们的嚣张气焰；对广大战争受害者，则是一种有力的慰籍；可以说，在整个欧洲范围内伸张了正气。因此，除苏联等少数国家外，大多数相关国家均认为此次审判是公正的，因而也是成功的。
二、（第二次）玛伊达奈克集中营审判案（杜塞尔多夫审判案) 。
西德司法界对纳粹战犯的审判曾经存在蓄意拖延和重罪轻判的问题。例如，杜塞尔多夫地区法庭对玛伊达奈克集中营罪犯的审判即具有典型意义。该案件的调查始于1962年，而开庭却姗姗来迟，直到1975年11月26日才进行，此期间15名被告中已有1 名被告死亡，另一名身患不治之症。虽然传讯了300 多名证人，提取了大量物证，但是到1979年4 月最后宣判时，竞有4 人被宣告无罪；只有9 人被判有罪，其中仅该营女国营副看守长赫尔米娜·布隆施特奈尔一瑞恩1 人被判终身监禁。该集中营的主要负责人赫尔曼·哈克曼仅被判处10年监禁。
1999年4 月26日，德国斯图加特州立法院开始审理前玛伊达内克集中营看守、79岁的阿尔方斯·戈特弗利德。他本是生长在苏联乌克兰的德国移民的后代。1941年德军攻占其家乡后，他便参加了德国军队，后又作为党卫军的一员担任了玛伊达内克集中营的看守。他曾供认，在该营1943年11月3 日实施的“感恩节行动”——大屠杀中，他一个人便杀害了500 个左右的犹太人。战后，他以“背叛祖国”罪被苏联军事法庭关押13年。
按照德国法律，由于同一罪行在外国已经服刑过，在本国法庭量刑时将把已执行的刑期扣除。因此，不排除戈特弗利德被德国法庭判处有罪而释放的可能性。
这一审判可以看作（第二次）玛伊达内克集中营审判的继续。
三、索比堡灭绝营审判案。
1965年西德哈根地方法院对库尔特·博林德、卡尔·弗伦茨。弗兰茨·沃尔夫等12名曾在索比堡灭绝营供职的前党卫军管理人员和看守进行了审判。他们被控“杀害或胁从杀害25万名犹太人囚犯和苏军战俘”。其中，博林德一人就参与杀害了86000 多人。主要罪证之一是在该灭绝营撤退后发现的一个掩埋了19000 具尸体的万人大坑。而这样的万人坑不止一个。由于该法院认定所有的被告所犯罪行均属于“胁从杀害”，因此最重的判决仅为15年监禁。但是，该营的司令官之一弗兰茨·施坦格尔未能到案，仍潜藏在拉丁美洲，直至1967年才被捕。
四、格拉芬内克处决中心审判案。
格拉芬内克是纳粹政权和医务界推行“T —4 行动”所建立的第2 个处决中心，处于巴登一符腾堡州明兴根市郊外一座古堡中。它于1940年2 月1 日开始启动，同年12月被迫关闭。在此期间，至少有10654 名精神病人或重残废人被纳粹当局从该州各个精神病院或疗养院集中到这里，其中至少有9839人被送进毒气室或注射毒剂杀害。在大多数情况下，纳粹医生们无论使用哪一种杀人手段，被杀害者每批次的规模均不少于75人。
该案件的审判分2 个阶段进行：第一阶段由巴一符州弗莱堡重罪法院审理，自1948年10月21日开庭；第二阶段由该州图宾根重罪法庭审理，自1949年1 月27日开庭。
该案的被告共11人，计首犯1 人，主犯4 人，从犯6 人。
第一次审判开庭之前，首犯、纳粹德国符腾堡州卫生部负责人、该州T —4 行动的主要策划、组织者欧根·施泰尔博士死去；两名主犯——巴登州内政部卫生局处长、该州T —4 行动的组织与监督者路德维希·什普劳尔博士和拉施塔特精神病医院院长阿尔图尔·施莱克博士在第一次审判中被判处终身监禁，后者仅在一次T —4 行动中，就下令将577 名精神病人送往格拉芬内克处决中心的毒气室杀害。
另外两名主犯——符腾堡州负责对被杀害病人的病历进行篡改和虚开因病死亡证明书的专家、医学博士奥托·毛特在第二次审判中被判处5 年监禁；该处决中心附属的茨维法尔腾中转营主任玛尔塔·佛泽尔（女）博士，被判处一年半监禁。从犯们的判决更轻，有的人甚至获准保释出狱——法官们认为这些T —4 医生、护士都是奉命执行杀人任务的。
五、纳粹医生审判案。
1947年，美因河畔法兰克福地区法庭对纳粹战犯赫尔曼·维斯进行了审判。他在纳粹党执政时期担任库列姆霍夫医学院医生时，不仅杀害精神病人，而且杀害健康的非日尔曼学生。为此，该法庭判处他死刑。
埃格尔芬格一哈尔疗养院的纳粹医生普芬缨勒，自1940年11月14日至12月1 日，对2109名精神病人进行了鉴别检查，决定他们的生死，平均每天检查300 人。慕尼黑地区法院还指控他用注射留米那尔的手段，杀害了120 名精神病患儿。然而，西德某地区法庭仅仅判处他6 年监禁。
1967年，西德法兰克福法庭对纳粹医生阿奎林·乌尔利希及其同伙海因利希·本克和克劳斯·恩德鲁维特进行了审判。他们被控在纳粹统治时期，在萨尔河畔的奔堡和哈达马尔处决中心积极推行T —4 计划，杀害了数以千计的精神病人和其他重病人，其中相当一部分是儿童。
六、赫尔曼·克鲁梅审判案。
赫尔曼·克鲁梅是纳粹大屠户艾希曼的三大助手之一。二战爆发后，他开始在波兰负责驱逐和屠杀犹太居民。以后又担任了中央保安总局驻罗兹的“移民中心”主任。在这里，“移民”不过是杀害的委婉说法。经他指示或纵容，1200名犹太居民惨遭杀害，受害者还包括几十名从捷克利地策被流放到此的儿童。1944年 5月，经艾希曼授权，他站在第一线，将 40 万匈牙利犹太人驱赶到奥斯维辛等集中营和死亡营，其中30多万人被杀害。克鲁梅曾在战后东躲西藏，直至1961年才被捕入狱。经过长期审判，于1985年判处终身监禁。
七、威廉·哈尔斯特尔审判案。
1967年1 月23日，西德慕尼黑地方法庭对前党卫军高级将领威廉·哈尔斯特尔及其女秘书格特鲁德·施罗特克、前党卫军司令官威廉·措普夫进行了审判。法庭指控他们的主要罪状是在占领荷兰期间将大量当地犹太居民驱逐到波兰的灭绝营杀害，其中包括安妮·弗兰克、其姐姐玛格特以及她们的母亲。结果，安妮的母亲一到奥斯维辛集中营就被送进毒气室，而安妮姐妹则在被转送到贝尔森集中营后患病而死。
八、阿道夫·海因茨叫白凯勒审判案。
1967年3 月，法兰克福法庭对纳粹时期该市的警察局长阿道夫·海因茨·伯凯勒进行了审判。他被控对该城1 万名左右的犹太居民被驱赶到集中营和灭绝营负有罪责。
九、洛塔尔·海姆巴赫审判案。
1967年4 月14日，西德比勒费尔德法庭宣布：判处前党卫军官员洛塔尔·海姆巴赫9 年监禁。同时被法办的还有其同伙、党卫军分子里哈特·迪布斯、威廉·阿尔腾罗以及党卫军专员克里拍·海因茨·埃雷里斯。他们被控在被纳粹侵占的波兰比亚威斯托克省驱逐了大批犹太居民到奥斯维辛等集中营和特列勃林卡等灭绝营。
十、安东·伊普伏里克审判案。
1967年5 月8 日，前党卫军驻波兰斯卡尔自斯科—卡敏纳劳动营司令官安东·伊普伏里克，被西德纽伦堡地方法庭以谋杀一批集中营犹太人囚犯的罪名宣判有罪。
十一、弗利茨·希尔德勃兰特审判案。
1967年5 月12日，西德不来梅法庭宣布判处前党卫军军官弗利茨·希尔德勃兰特终身监禁。他被指控在担任驻波兰的鲍里斯拉夫集中营司令官期间，于1944年6 月22日以“谋图越狱”的莫须有罪名，将3 名犹太囚犯枪杀。
十二、格布哈特·弗利茨·冯·哈恩审判案。
1967年5 月，前纳粹官员格布哈特·弗利茨·冯·哈恩，因在纳粹侵占的希腊任职时，参与了驱逐2 万名犹太居民到波兰的灭绝营，被法兰克福法庭判罪。
十三、埃米尔·伯恩多尔夫审判案。
1967年6 月26日，西德柏林警察局奉命出动警力，逮捕了前纳粹德国中央保安总局波兰事务处的官员埃米尔·伯恩多尔夫及其同事弗利茨·沃尔姆、伯纳德·巴茨、约阿希姆·多姆令和哈罗·托姆森。他们对数十万名波兰居民特别是其中的高级知识分子以及波兰犹太人被杀害必须承担责任。
十四、格哈德·果德审判案。
1967年7 月28日，西德达姆施塔特市法庭以谋杀罪判处前党卫军军官格哈德·果德终身监禁，判处其同伙欧文·盖伊8 年监禁，弗里德里希·科那克多费尔7 年监禁，维尔纳·施文克尔3 年监禁。同案犯阿洛伊斯·米勒和埃伯哈德·许勒则被宣判无罪。
十五、瓦尔特·普鲁勒审判案。
1967年7 月21日，北莱茵—威斯特法利亚州法庭对前党卫军军士瓦尔特·普鲁勒及其同伙卡尔·里德克、弗利茨·瓦普勒进行了审判。他们被指控枪决了15名被怀疑同德国女工发生了性关系的波兰劳工。
十六、库诺·卡尔森审判案。
1967年，西德达姆施塔特地方法庭对前特别行动队C 支队第四分遣队的一批刽子手进行了审判。他们是分队负责人库诺·卡尔森、库尔特·汉，排长海弗纳，党卫军军士阿道夫·延森、亚历山大·里斯勒、维克多·勃伊托恩、格奥尔格·普法尔基谢尔。海因利希·胡恩、恩斯特·孔塞、维克多·特利尔。他们被控于1941年—1942年在乌克兰首都基辅远郊的巴比雅尔峡谷多次参与对8 万名犹太人的大屠杀。
十七、维克多·阿莱斯审判案。
1979年12月21日，汉堡刑事法庭判处前党卫军驻拉托维亚地区的警察首脑、党卫军旗队长维克多·阿莱斯终身监禁。拉托维亚被纳粹侵占期间，他是施塔勒克领导的特别行动队A 支队下属的2C分队负责人，后来又被希姆莱点名列席参加万湖会议。1941年11—12月他曾参与策划在里加郊区的隆布利森林屠杀3 万多德国犹太人的罪恶活动。二战后他逃脱了特别行动队判案，并利用化名在法兰克福潜藏了25年，直至1975年才被逮捕归案。
十八、布鲁诺·贝格尔审判案。
美国著名记者威廉·夏伊勒在其驰名全球的名著《第三帝国的兴亡》中，在记述纳粹刽子手、党卫军上尉尤塞夫·克拉麦的供词时，展现出一幅令人毛骨惊然的画面：“1943年8 月初，我收到80个囚犯，要我用希尔特（纳粹医生，著名的医生刽子手）给我的毒气杀死。第一次，我在晚上带着大约15个妇女乘坐一辆小汽车驶往毒气室。我告诉这些妇女，她们必须到室内进行消毒……。在几个党卫军人员的帮助下，我把那些女人的衣服剥得精光，并把她们赤条条地推进毒气室。门一关上，她们就开始尖声号叫起来。我通过一条管子把一定数量的毒盐送入室中……从一个窥孔看室内发生的情况。这些女人只呼吸了大约半分钟便栽倒在地上。我打开通风机以后，把门打开。我发现那些女人都已死在地上，浑身都是粪便。”在这里，克拉麦没有交代那几个帮助他行凶的党卫军人员的名字，也许他并不知晓他们的名字。然而，这几个残忍的凶犯最终也未能逃脱走上审判席的命运。请看：1970年10月27日，西德法兰克福法庭对党卫军下级军官布鲁诺·贝格尔及其下属汉斯·弗莱什哈克尔、沃尔夫·迪特尔进行了审判。法庭指控此三人参与了希姆莱创立的、服务于种族灭绝的所谓“遗传研究”。他们按照设在法国斯特拉斯堡大学内的纳粹“遗传研究”机构负责人奥古斯特·希尔特的指示，分批将来自奥斯维辛集中营的115 名波兰、犹太、蒙古年轻男女囚犯强行剥光衣服、推进纳茨威勒集中营的毒气室杀害。当时任纳茨维勒集中营负责人后来又担任贝尔森集中营司令官的克拉麦在纽伦堡国际法庭受审时的供词现今则成为给他们定罪的重要证据。
十九、赫伯特·哈根审判案。
赫伯特·哈根，1913年9 月20日生于德国荷尔斯泰因一什勒苏益格州的诺伊缨因斯特。1937年起担任中央保安总局保安勤务处犹太人事务科科长，是未来的特大屠户艾希曼的顶头上司。1940年6 月起担任纳粹德国驻法国波尔多地区保安警察和保安勤务处司令官。1942年5 月出任党卫军和保安警察驻法国最高负责人奥伯格的助手，负责领导保安警察和保安勤务处。在法国任职期间，积极参与了历次迫害和屠杀犹太人的重要活动。1955年 3月，即使在法国司法部门已经对纳粹战犯采取手下留情的前提下，因罪行累累，仍被缺席判处终身强制劳役。此时，他在西德却能不受任何干扰地生活，在一家著名的大型工业公司中担任贸易部总经理。1980年，西德科隆重罪法院以谋杀罪判处他12年监禁。同案犯恩斯特·海因利希森，1920年5 月13日生于柏林。1940年9 月起，担任盖世太保驻法国总部负责犹太人事务的官员。1943年起，出任驻巴黎保安警察和保安勤务处司令官里什卡的副手。1953年，曾被法国一家法院缺席判处死刑。但他在西德依然逍遥法外，先后担任西德米腾贝格一家大企业的法律顾问与比尔格市市长。1980年事发，被科隆重罪法院判处6 年监禁。
1997年4 月，德国梅宁顿地方检察院经过7 年调查取证，宣布对长期隐居在沃尔道夫村的前纳粹集中营女看守露易丝·丹茨提出起诉。丹茨女士因在玛伊达奈克和奥斯维辛集中营担任看守时残酷地虐杀女囚，于1947年12月被波兰法庭判处终身监禁，但是10年以后，因东西方关系缓和即被开释。此次，梅宁顿检察院又发现了她的新罪行：1945年4 月，党卫军当局将柏林以北的马尔科集中营及其他集中营的17000 多个女囚押送德国西部的集中营。丹茨是负责押解的女看守之一。半途中，一个犹太女孩要求和母亲一起走，而不要分开她们。丹茨闻讯大怒，立即对女孩拳打脚踢，又加上鞭答，直到女孩倒在地上停止呼吸。
直至本世纪末，施罗德总理执政的德国又传来审判纳粹战犯的新消息：2000年11月初，北莱茵一威斯特法伦州地方法院郑重宣布：前传重要的纳粹乙级战犯阿洛伊斯·布鲁纳（1912年生于奥地利）已经身亡的消息有误，并宣布对他提出起诉。阿·布鲁纳是在第一线指挥“最后解决”犹太人的大屠户艾希曼的少数几个最亲密的助手之一。除积极协助艾希曼迫害和杀害数以百万计的欧洲各国犹太人之外，经他本人下令而被秘密警察和保安警察驱赶到集中营和灭绝营的希腊、法国、匈牙利等国的犹太人至少达到128500人。因此，战争一经结束，他即被盟军司法部门列入战犯名单。他自知在欧洲难以立足，于是更名为格奥尔格·菲舍尔博士，潜入叙利亚首都大马士革隐居，已达50年之久。期间，虽曾被复仇的犹太人寄来的炸弹邮包炸断一只手，但性命却保住了。1997年前后，一家法国小报的记者，不知出于何种动机，竞无中生有地撰文报道，此公已经死于心脏病，并已埋葬在某某大都市郊外的一个无名墓地云云。这个虚假的信息曾在数年内起到混淆视听、庇护罪犯的效果，直到最近才被彻底揭穿。
