国产EUV光刻机整机联调刚刚取得阶段性突破,西方新一轮封锁便接踵而至。美国下令旗下光源企业彻底断供核心部件,同时全面禁运激光晶体、光学镀膜、真空器件等关键材料,意图直接卡死光刻机的“心脏”——EUV光源。
消息传来,整个微电子科研基地瞬间陷入凝重。所有人都明白,EUV光源是极紫外光刻的能量核心,技术壁垒极高,全球长期被美国一家垄断。国内此前长期停留在低功率试验阶段,距离商用标准差距巨大。如今材料、设备、技术全被锁死,相当于从源头切断了国产光刻机的前进道路。
不少工程师面露难色,连几位资深院士都忧心忡忡。外部舆论更是一片唱衰,海外厂商公开宣称,中国就算造出物镜和工件台,没有光源也只是一堆废铁,至少二十年追不上国际水平。国内网络上也充斥着悲观声音,认为这场技术突围已经走到尽头。
就在团队士气低迷、陷入困境之际,陆泽再次站了出来。他冷静安抚众人,明确表示:封锁越是凶狠,越要靠自己突破。别人能造出来的,我们一定能造,而且要做得更好。
随即,陆泽启动系统全景扫描,成功激活国内激光领域奠基人、光学工程泰斗的顶级人生存档。海量核心技术涌入脑海,一套完全绕开西方专利、全国产自主路线的EUV光源方案彻底成型。这套方案摒弃了国外传统结构,采用碟片式激光、双脉冲轰击、高精度锡滴控制、新型掠入射收集镜等创新设计,理论性能直接对标并超越国际顶尖水平,且所有元器件、材料均可实现国内自给。
陆泽迅速召集光源攻坚团队,将完整技术路线清晰拆解,从激光器、锡滴发生器、真空系统到光学收集模块,分工明确、节点清晰。原本迷茫的专家们瞬间眼前一亮,所有技术难点都有了明确解法,绝望一扫而空,全员斗志重燃。
陆泽下达死命令:一周之内,拿出可稳定点亮的原理样机。
整个基地进入高强度攻坚状态,四大小组同步推进。陆泽全程坐镇一线,亲自指导调试,解决了一个又一个突发问题。团队成员不眠不休,日夜赶工,将所有压力化为动力,誓要打破西方封锁。
与此同时,海外企业依旧在公开场合不断嘲讽,断言中国不可能在短时间内突破光源技术,甚至放话没有他们的支持,中国光源永远无法商用。他们不知道的是,一台完全自主的国产EUV光源正在飞速成型。
第七天夜里,国内首台全国产EUV光源样机完成总装。
清晨时分,正式点火测试。
随着启动指令下达,真空系统、激光器、锡滴系统依次运转,双脉冲精准轰击,13.5nm极紫外光稳定输出。功率数值一路攀升,最终稳定在300W,远超商用250W标准,寿命、效率、稳定性全面优于国外产品。
现场爆发出震天欢呼,所有人热泪盈眶。
七天,仅仅七天,中国彻底攻克被垄断数十年的EUV光源技术,实现100%国产化。
消息上报中央,高层高度赞扬,称陆泽团队是国家科技自立自强的功臣。
而西方相关企业在得知数据后,全线震动。股价暴跌,高层紧急开会,却发现再也没有可以制裁的环节。中国已经走完了从设计、材料、部件到整机的全链条,彻底摆脱外部依赖。
光源突破后,陆泽没有停下脚步,立刻将目标转向最后一个核心难关:双工件台系统。
光刻机三大件,即将全部攻克。
但他们不知道,被逼到墙角的西方势力,已经放弃正面竞争,转而启动间谍渗透、技术窃取、网络攻击等阴暗手段,试图在最后关头破坏国产光刻机研发。
一场看不见硝烟的暗战,正式打响。
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